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2019年5月8日，国联安基金推出半导体ETF（512480）；2019年5月16日，国泰基金推出芯片ETF（512760），上述两只为该领域最早的基金产品。2020年4月，鹏华基金半导体ETF（159813）成立，第三只半导体类基金直至2022年底才登陆市场。芯片类基金则逐年新增，尤其科创芯片ETF已成立9只，且芯片类基金出现细分趋势，芯片设备ETF、芯片龙头ETF、芯片50ETF等均已上市。集成电路类基金属于小众类别，仅嘉实基金与国泰基金各成立一只，总规模2.02亿元。
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